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LODAS™ – CI8是列真株式會(huì)社推出的一款化合物半導(dǎo)體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

UltraINSP晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)是表面缺陷檢測(cè)的蕞完善的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個(gè)模塊可以檢測(cè)所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測(cè)模塊；輪廓、量測(cè)和檢查模塊；

iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷檢測(cè)設(shè)備，利用STI的2D/3D視覺檢測(cè)系統(tǒng)，采用雙2D Camera同時(shí)采集亮區(qū)和暗區(qū)照片分析特征缺陷；True 3D技術(shù)，可以精確量測(cè)Bumping高度，Bumping共面性等特征?？蛇m用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀檢測(cè)。

LODAS™ – LI系列是列真株式會(huì)社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株式會(huì)社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會(huì)社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。