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硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)厚度測(cè)量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測(cè)量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測(cè)量方法。一、接觸式測(cè)量：機(jī)械與壓電技...
美國(guó)FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來(lái)為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備。美國(guó)FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測(cè)量?jī)x特殊功能優(yōu)點(diǎn)：1、*封閉的設(shè)計(jì)，溫度更穩(wěn)定。2、特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到較低。3、圖形式使用界面更容易使用。4、當(dāng)改變彈性模數(shù)，晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。5、可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。6、可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel，提供給SPC分析。8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì)，手動(dòng)裝載樣品，有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研...
StrainScopeFlex可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀產(chǎn)品具有測(cè)量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)，對(duì)大尺寸樣品可拼接測(cè)量。其應(yīng)力測(cè)量設(shè)備用戶遍及*，用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。Flex系列可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀主要產(chǎn)品有三大系列：M系列高精度型；S系列實(shí)時(shí)型；M系列大口徑拼接型1、單口徑一次成像。測(cè)量時(shí)間＜45s，測(cè)量速度快。2、空間分辨率高，低噪聲。3、操作方...
FilmSenseFS-1多波長(zhǎng)橢偏儀使用長(zhǎng)壽命LED光源設(shè)計(jì)，使用壽命大于5000小時(shí)，同時(shí)FS-1的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)沒有轉(zhuǎn)動(dòng)部件以確保設(shè)備的穩(wěn)定性?？偟膩?lái)講，F(xiàn)S-1是一臺(tái)簡(jiǎn)單易用的緊湊型設(shè)計(jì)的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測(cè)量。FilmSense橢偏儀的優(yōu)點(diǎn)：1、沒有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)。2、測(cè)量精度只有用本儀器才能達(dá)到。3、快速多次測(cè)量（多波長(zhǎng)數(shù)據(jù)在10毫秒）且長(zhǎng)期可靠性。4、長(zhǎng)壽命（50000小時(shí)），不用頻繁更換昂貴的燈泡，或定時(shí)校正或周期維護(hù)。5、器對(duì)薄膜Δ參數(shù)相位差極...
Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)采用了先進(jìn)的減振技術(shù)，其技術(shù)參數(shù)和減振效果如下：Herz氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)技術(shù)參數(shù)：1、減振方式：垂直方向-HERZ減振空氣彈簧，水平方向-Herz高性能水平振動(dòng)隔離系統(tǒng)；2、空氣彈簧數(shù)：4-6；3、阻尼方式：垂直方向通過節(jié)流孔進(jìn)行空氣阻尼，水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼；4、固有頻率：垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz（搭載均等大重量時(shí)）；5、調(diào)平方式：帶有3個(gè)機(jī)械式自動(dòng)調(diào)平傳感器；6、供氣方式：需要外部氣源；7、所需氣壓：0.3～0.7MP...
美國(guó)Microsense位移傳感器具有一系列顯著的特點(diǎn)，使其在各種應(yīng)用場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。以下是關(guān)于Microsense位移傳感器特點(diǎn)的一些詳細(xì)介紹：1.高準(zhǔn)確性與靈敏性：該傳感器具備高準(zhǔn)確性的測(cè)量能力，其高精度可達(dá)0.5nm，這使得它在需要精確測(cè)量的場(chǎng)合中表現(xiàn)出色。此外，它的高靈敏性也確保了即使在微小的位移變化下，也能產(chǎn)生明顯的信號(hào)響應(yīng)。2.優(yōu)化的近距離測(cè)量：Microsense位移傳感器特別適用于近距離測(cè)量，其測(cè)量距離在10微米到5毫米之間，這使得它在微小物體或結(jié)構(gòu)的位移測(cè)量...