當(dāng)前位置：首頁 > 技術(shù)文章
硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場景對厚度測量提出多樣化需求，催生出一系列精準高效的測量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實際應(yīng)用場景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測量方法。一、接觸式測量：機械與壓電技...
在眾多對振動敏感的實驗和工業(yè)應(yīng)用中，主動隔振臺宛如一位可靠的“守護者”，默默守護著精密設(shè)備免受外界振動的干擾，而其水平要求的好壞，更是至關(guān)重要。從減振原理來看，主動隔振臺需要水平放置來確保最佳的工作效果。當(dāng)外部振動源產(chǎn)生振動時，設(shè)備通過感知振動信號，并快速產(chǎn)生與外來振動反向的力，以抵消和減弱振動的影響。如果水平度不佳，就如同建在傾斜地基上的高樓，整體結(jié)構(gòu)會失衡，導(dǎo)致系統(tǒng)不能準確地感知和抵消振動，從而影響隔振效果，使精密設(shè)備仍然面臨受到干擾的風(fēng)險。對于一些高精度的實驗儀器，如電...
在半導(dǎo)體制造的自動化產(chǎn)線中，晶圓水平儀是確保晶圓表面平整度、提升工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵設(shè)備。它通過高精度傳感器與智能算法，實時測量晶圓表面起伏，并將數(shù)據(jù)反饋至制造設(shè)備，形成閉環(huán)質(zhì)量控制。晶圓水平儀的核心優(yōu)勢在于其動態(tài)校準能力。以WaferSense無線水平儀為例，其±0.03°的精度可支持150mm-300mm晶圓的快速校準，并適應(yīng)真空或常態(tài)環(huán)境。設(shè)備內(nèi)置HEPA過濾器，避免顆粒污染，同時支持藍牙無線傳輸，與產(chǎn)線系統(tǒng)無縫對接，縮短工具配置時間。在自動化產(chǎn)線中，晶圓水平...
在現(xiàn)代精密工程和科學(xué)研究中，主動隔振臺扮演著至關(guān)重要的角色。這種高科技設(shè)備通過精密的傳感器網(wǎng)絡(luò)和先進的控制算法，為精密儀器創(chuàng)造了一個近乎靜止的工作環(huán)境，使其能夠在納米尺度上進行精確操作和測量。主動隔振臺的核心在于其特殊的反饋控制機制。系統(tǒng)由三個主要部分組成：高靈敏度振動傳感器、實時控制單元和電磁執(zhí)行器。振動傳感器能夠檢測到從0.1Hz到數(shù)百Hz的微小振動，精度可達納米級。這些傳感器通常采用地震儀原理或激光干涉技術(shù)，能夠精確捕捉來自地面、空氣和建筑物結(jié)構(gòu)的振動信號?？刂茊卧侵?..
在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時代，對于精密測量的需求日益增長，膜厚測量作為眾多領(lǐng)域的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，對測量設(shè)備的精度、可靠性和靈活性提出了更高的要求。而Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo作為一款模塊化和可擴展平臺的光學(xué)測量設(shè)備，正以其特殊的優(yōu)勢在市場中嶄露頭角。膜厚測量儀FR-pRo的模塊化設(shè)計堪稱一大亮點。這種設(shè)計理念使得設(shè)備的各個組件可以根據(jù)具體的應(yīng)用需求進行自由組合和調(diào)整。無論是測量不同材質(zhì)的薄膜厚度，還是應(yīng)對各種復(fù)雜的測量環(huán)境，都能輕松應(yīng)對。用戶無需為了一次特定的測量...
在電子顯微鏡（電鏡）的微觀探索領(lǐng)域，圖像的清晰性和準確性至關(guān)重要。而電鏡防振臺作為保障電鏡穩(wěn)定運行的關(guān)鍵部件，其特殊的結(jié)構(gòu)原理發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。電鏡防振臺的主要目標是隔離外界振動對電鏡的干擾，為電鏡創(chuàng)造一個近乎“靜止”的工作環(huán)境。其結(jié)構(gòu)設(shè)計通常融合了多種先進技術(shù)，以達到最佳的抗振效果。從整體結(jié)構(gòu)上看，該設(shè)備常采用多層結(jié)構(gòu)設(shè)計。最上層是放置電鏡的工作平臺，它需要具備高精度的平面度和穩(wěn)定性，以確保電鏡在運行過程中不會因自身結(jié)構(gòu)的不均勻而產(chǎn)生額外的振動。中間層是關(guān)鍵的隔振部件，...