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簡(jiǎn)要描述：OptoScan 600是一款光學(xué)粗糙度測(cè)試儀，主要用于檢測(cè)晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品型號(hào)：OptoScan 600廠商性質(zhì)：代理商產(chǎn)品資料：更新時(shí)間：2024-11-09訪 問(wèn) 量： 2705產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板
OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測(cè)試儀應(yīng)用：
整體晶圓快速精確檢查
缺陷
粗糙度
波紋度
翹曲
直線電機(jī) X/Y
700 x 700 (mm)
(Witte) 真空吸盤
帶旋轉(zhuǎn)攝像頭傳感器
扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度
Ra values 0.15 µm / Disco Machine.
測(cè)量通過(guò)拼接 148 次局部區(qū)域掃描（約需 1 小時(shí)）
其他推薦：德國(guó)OptoSurf WaferMaster WM 300 角分辨光散射(ARS)技術(shù)粗糙度測(cè)量系統(tǒng)
先進(jìn)半導(dǎo)體封測(cè)應(yīng)用工藝如扇出型晶圓級(jí)封裝 (FOWLP) 及扇出型面板級(jí)封裝(FOPLP) 需將晶圓或面板減薄至 50 - 30 µm ，于是晶背研磨工藝后的晶圓粗糙度測(cè)量極其重要。OptoSurf 的角分辨散射粗糙度測(cè)量系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的 WLI （白光干涉）或 AFM （原子力顯微鏡 ）小面積測(cè)量技術(shù)已經(jīng)用于超導(dǎo)的高質(zhì)量拋光金屬表面的表面測(cè)量中得到充分證明，可在 30 秒內(nèi)精準(zhǔn)測(cè)量< 1 nm 的 Ra 值以獲得整個(gè)200 毫米晶圓區(qū)域的粗糙度以及微米范圍內(nèi)的翹曲和納米范圍內(nèi)的波紋度。
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